[发明专利]清洁装置有效
| 申请号： | 202010654662.6 | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN111876746B | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 张军 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;B08B1/00;B08B7/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 王芳芳 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种防着板，其包括靶材区，所述靶材区包括靶材和附着在所述靶材上的污染物；清洁装置，所述清洁装置包括：本体；定位模块，所述定位模块设置在所述本体上，所述定位模块用于定位所述污染物在所述靶材区上的位置，当使用所述定位模块定位所述污染物时，所述定位模块与所述靶材区相对设置；清洁模块，所述清洁模块用于对所述污染物进行清洁。该方案设置了具有定位模块和清洁模块的清洁装置，先通过定位模块对靶材区的污染物进行定位，再使用清洁模块对污染物进行清洁，提高了使用该防着板制备的薄膜的平整度。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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