[发明专利]半导体器件和半导体封装件在审
申请号: | 202010655330.X | 申请日: | 2020-07-09 |
公开(公告)号: | CN112242366A | 公开(公告)日: | 2021-01-19 |
发明(设计)人: | 李学承;金镇南;文光辰;金恩知;金泰成;朴相俊 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L25/18;H01L21/60 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 赵南;张青 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了一种半导体器件和半导体封装件。所述半导体体器件包括:具有至少一个半导体结构的半导体衬底;层间绝缘层,其设置在半导体衬底上;至少一个第一过孔结构,其穿透半导体衬底和层间绝缘层,并包括第一区域和第二区域,所述第一区域在层间绝缘层的上表面具有第一宽度,所述第二区域从第一区域延伸,并且在半导体衬底的下表面具有第二宽度,其中,第一区域的侧表面和第二区域的侧表面在第一区域与第二区域之间的边界具有不同的轮廓;以及至少一个第二过孔结构,其穿透半导体衬底和层间绝缘层,并且在层间绝缘层的上表面具有大于第一宽度的第三宽度。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 半导体 封装 | ||
【主权项】:
暂无信息
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