[发明专利]一种夹持机构及检测装置有效
| 申请号： | 202010657353.4 | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN111811459B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 陈梦来 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201703 上海市青浦区赵巷*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及基板检测技术领域，公开了一种夹持机构及检测装置。所述夹持机构，用于夹持基板，所述夹持机构包括支撑本体、至少三组径向抵压组件及轴向抵压组件，所述支撑本体包括支撑平面，所述支撑平面用于支撑所述基板的底面；至少三组径向抵压组件设置在所述支撑本体上且能够分别沿所述基板的径向抵压所述基板的周面，以限定所述基板在所述支撑平面内的位置；轴向抵压组件设置在所述支撑本体上，所述轴向抵压组件能够沿所述基板的轴向将所述基板夹紧于所述支撑平面上。本发明的夹持机构夹持基板的过程简单、定位精度高且不会造成基板的损伤。本发明的检测装置通过采用上述的夹持机构能够简化基板夹持步骤且提高基板的测量准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 夹持 机构 检测 装置 | ||
【主权项】：
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