[发明专利]电子芯片以及电子器件有效
申请号: | 202010658241.0 | 申请日: | 2020-07-09 |
公开(公告)号: | CN111952261B | 公开(公告)日: | 2023-01-17 |
发明(设计)人: | 焦斌斌;叶雨欣;孔延梅;刘瑞文;陈大鹏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H01L23/427;H01L23/473 |
代理公司: | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人: | 金铭 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供的一种电子芯片以及电子器件,涉及微电子芯片技术领域,包括:芯片本体,芯片本体上具有至少一个发热结区,芯片本体的内部开设有至少一个微流通道,微流通道开设有进口和出口,微流通道与发热结区的位置相互对应;至少一个热敏挡件,热敏挡件的一端与微流通道的内壁连接,热敏挡件的另一端自由设置,热敏挡件能够受热变形而改变倾斜角度。在上述技术方案中,该电子芯片可以通过具有热应变特性的热敏挡件,将电子芯片发热结区的功率密度转换为热敏挡件的形变量,间接的改变微流通道内的局部流阻,进而改变微流通道内散热工质的热交换能力,在不增加散热系统泵送功率的前提下,有效的提高散热效率的自适应散热功能。 | ||
搜索关键词: | 电子 芯片 以及 电子器件 | ||
【主权项】:
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