[发明专利]一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法在审
| 申请号： | 202010658504.8 | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN111855725A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 马丁·思巴斯帝安·卡贝尔;莉莲·苏娜;凯彭;图阮;优翰·伯特兰;张传杰;陈辉 | 申请（专利权）人： | 兰波（苏州）智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 林志豪 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，包括：载入待扫描样品；设置若干参数；定义待扫描样品的样品中心位置和待扫描样品的半径值，以样品中心位置为圆心、半径值为半径形成圆；定义待扫描样品的扫描区域；在扫描区域内选择有限多个点，根据点的数量在圆内选择合适位置将圆均分，并确定若干点的位置；确定焦点位置并自动设置放大倍数，同时激发自动聚焦；根据焦点位置自动计算待扫描样品的平面信息并进行水平校正；根据参数以及电子显微镜自动设定的对比度和亮度，逐个扫描用户指定的所有扫描区域。本发明大幅提高了全样品扫描的效率，为实现全样品或部分区域的快扫提供了可行方案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子显微镜 样品 扫描 快速 对焦 方法 | ||
【主权项】：
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