[发明专利]精密定位平台Pitch值的测量系统及方法有效
| 申请号： | 202010658620.X | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN111912315B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 李辉 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/008 | 分类号： | G01B5/008;G01B5/28 |
| 代理公司： | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人： | 朱鸿雁 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种精密定位平台Pitch值的测量系统及方法，该系统包括：测量底座；测量模块，测量精密定位平台的第一轴和第二轴上各坐标点对应的距离值；计算模块，计算精密定位平台的第一轴和第二轴上各坐标点对应的Pitch值；优化模块，根据各坐标点对应的Pitch值拟合出各坐标点与Pitch值的二维曲线，并以二维曲线的第一个点为基准点，将Pitch值高于或低于基准点对应的Pitch值的坐标点作为待调节点，并根据基准点对应的Pitch值对待调节点对应的Pitch值进行优化。本发明能够有效测量精密定位平台的Pitch值，具有测量结果准确性高，结构简单，调节简便，成本低，工作效率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 定位 平台 pitch 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
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