[发明专利]一种用于超声键合的芯片夹持固定和芯片平行度测量结构有效
| 申请号： | 202010661910.X | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN111890249B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 刘旭;李昱宏;王中武;施晓亭;孙小菡 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;G01B7/30;G01B5/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 施昊 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于超声键合的芯片夹持固定和芯片平行度测量结构，包括靠近吸嘴的长针脚芯片平行度测量结构和位于长针脚芯片平行度测量结构外侧的短针脚芯片夹持固定结构。本发明根据滑动变阻器的原理，通过对长针脚位置变化导致的电阻变化进行测量，通过电阻的决定式，能够精确读取到芯片平行度的偏移量，从而实现准确的芯片平行度测量，解决了吸嘴和基板平行时，还可能因为电气接触凸点高低导致的芯片不平行等外界因素的问题。并且短针脚在超声键合的过程中，未收起的部分可以实现对芯片的位置固定，从而保护芯片，增大键合成功率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 超声键合 芯片 夹持 固定 平行 测量 结构 | ||
【主权项】：
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