[发明专利]一种具有嵌入式散射层的倒装发光二极管及其制备方法有效
| 申请号： | 202010664524.6 | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN111864019B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 周圣君;赵杰 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H01L33/10 | 分类号： | H01L33/10;H01L33/32;H01L33/36;H01L33/00 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 王丹 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有嵌入式散射层的倒装发光二极管，包括蓝宝石衬底，在蓝宝石衬底上依次生长有u‑GaN层，n型掺杂氮化物材料层，重掺杂n型掺杂氮化物材料层，发光层和p型掺杂氮化物材料层；p型掺杂氮化物材料层上沉积有透明导电层；透明导电层、p型掺杂氮化物材料层、发光层和重掺杂n型掺杂氮化物材料层刻蚀有直达p型掺杂氮化物材料层的三维n型通孔阵列；并在重掺杂n型掺杂氮化物材料层层刻蚀有三维n型通孔阵列连通的空气间隙结构；透明导电层上和三维n型通孔阵列中沉积有底部反射层，底部反射层上设有电极。本发明在蓝宝石衬底上形成空气间隙结构阵列组成嵌入式光散射层，使光子发生散射，增加了光子逸出概率，提高了LED出光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 嵌入式 散射 倒装 发光二极管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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