[发明专利]MEMS扬声器在审
| 申请号： | 202010665048.X | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN111918189A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 但强;程诗阳;朱国;李杨 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/02 | 分类号： | H04R19/02 |
| 代理公司： | 深圳中细软知识产权代理有限公司 44528 | 代理人： | 孙凯乐 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了MEMS扬声器，包括基座、位于所述基座上方的振膜以及设于所述基座和所述振膜之间的驱动电极部，所述驱动电极部上形成有用于驱动所述振膜沿上下方向振动的驱动电极，所述驱动电极部包括至少三层导电层和两层绝缘层。通过设置多层结构的驱动电极部，实现非接触式的驱动振膜，相较于传统的接触式驱动振膜，本发明能够独立的调整振膜的刚度和静电驱动力的大小，保障MEMS扬声器达到设定的声压要求，且相较于传统的接触式驱动振膜，本发明能够独立的调整振膜的刚度和静电驱动力的大小，保障MEMS扬声器达到设定的声压要求；另外，本发明能通过差分激励的电极减小谐波失真。 | ||
| 搜索关键词： | mems 扬声器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瑞声科技（南京）有限公司，未经瑞声科技（南京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010665048.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种合晶地板
- 下一篇：设备控制方法、装置、存储介质及电子装置
