[发明专利]一种基于共价有机框架材料的紫外与可见光探测器及其制备方法

摘要

本发明属于光电探测器技术领域，具体为一种基于共价有机框架材料的紫外与可见光探测器及其制备方法。本发明方法包括：首先，制备半导体沟道暴露在外的晶体管器件；然后，在半导体沟道上沉积一层光敏性的共价有机框架材料；最后，将器件置于液体环境中，得到高性能的紫外与可见光探测器。本发明以光敏性的共价有机框架材料作为光能吸收材料，在液体辅助下可利用液固界面积累大量电荷，改变半导体沟道的掺杂状态和导电性，从而将光信号转化为电信号。本发明工艺简单，可实现紫外可见光（254纳米–760纳米）探测，响应度高，响应时间短，稳定性好，在信息、通讯、人工智能等领域具有广阔的应用前景。