[发明专利]一种小压力的高精度脉冲加热邦定装置及邦定方法在审

专利信息
申请号: 202010665884.8 申请日: 2020-07-12
公开(公告)号: CN111640700A 公开(公告)日: 2020-09-08
发明(设计)人: 魏静;田辉;冯艳江;王国昌;杜振鑫;孟祥生;饶钦;杨宝春;赵莹;菅卫娟;林斌;赵燕;潘强强 申请(专利权)人: 中电科风华信息装备股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/60;H01L23/49
代理公司: 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 代理人: 朱源
地址: 030024 *** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明涉及邦定技术领域,具体是一种小压力的高精度脉冲加热邦定装置及邦定方法,旨在解决现有邦定装置无法满足小压力高精度邦定要求的技术问题。邦定装置包括机架,机架上固定有伺服电机和竖直布置的滑轨、且转动安装有竖直布置的丝杆,伺服电机驱动丝杆旋转,丝杆上套装有丝母,滑轨滑动嵌装有上滑块和下滑块,丝母与上滑块固连,上滑块上固定有气缸,气缸的活塞杆竖直朝下且固连下滑块,活塞杆下端安装有邦定头,气缸连接有控制其开闭的电磁阀和控制其预设压力大小的电气比例阀,气缸的活塞杆处于最大伸长状态;还包括控制器,控制器连接电磁阀、电气比例阀和伺服电机。邦定方法采用气缸大小预设力两段式控制,伺服电机快慢两段式控制。
搜索关键词: 一种 压力 高精度 脉冲 加热 装置 方法
【主权项】:
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