[发明专利]一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座在审
| 申请号： | 202010669548.0 | 申请日： | 2020-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN111996587A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 陈永贵;张培林;武建军;柴利春;张作文;王志辉 | 申请（专利权）人： | 大同新成新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 杨凯;连慧敏 |
| 地址： | 037002 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座，包括支撑板A，所述支撑板A顶部两侧对称设置有仓体，所述仓体内底部设置有弹簧A，所述弹簧A的顶部设置有支撑杆A，所述支撑杆A的顶部设置有支撑板B，两组所述支撑板B相互靠近的一侧设置有支撑杆B，所述支撑杆B外侧的两侧对称设置有弹簧B，所述支撑板B外侧的中间位置处对称设置有滑块，所述支撑板B的顶部设置有支撑板C；本发明装置通过给装置适配一个底座，在底座上设置多个固定销，在装置的底座设置多个固定孔，固定销与固定孔相互适配，将装置的固定孔与底座的固定销相互重合，做到固定作用，安装时就不需要大量的人员来进行安装，省时省力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 级硅单晶炉 石墨 坩埚 | ||
【主权项】：
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