[发明专利]一种衬底及其加工方法、发光二极管及其制造方法有效
| 申请号： | 202010670939.4 | 申请日： | 2020-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN111785814B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 李瑞评;曾柏翔;张佳浩;陈铭欣;曾建尧 | 申请（专利权）人： | 福建晶安光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/02;H01L33/12 |
| 代理公司： | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人： | 高园园 |
| 地址： | 362411 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供一种衬底及其加工方法、发光二极管及其制造方法，通过确定衬底所呈现的不对称面型及不对称取向，在不对称取向上对衬底进行扫描，在衬底中形成改质点通过调整不对称方向上扫描线的间隔距离，使得同一方向上的扫描线相互平行，而不对称方向上的扫描线的间隔距离不同，在不对称方向上产生间隔距离不同的改质点，通过形成上述改质点，使得衬底的应力发生改变，均匀整个衬底的应力分布，在不同的方向上产生不同的弯曲值变化，最终使得衬底在每个径向方向上的弯曲幅度和弯曲方向趋于一致，衬底面型收敛为对称面型。对称面型的衬底有利于提高后续外延层波长的收敛性，进而使得器件良率大大提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衬底 及其 加工 方法 发光二极管 制造 | ||
【主权项】：
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