[发明专利]多位式坩埚定位方法及定位系统有效
| 申请号： | 202010672128.8 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN111780697B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 苗丁 | 申请（专利权）人： | 惠州市奥普康真空科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00;C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 王华强 |
| 地址： | 516127 广东省惠州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种多位式坩埚定位方法，其包括对坩埚的多个承载位进行编码，获得编码信息，对坩埚的多个承载位进行到位检测，获得到位信息，根据编码信息和到位信息，获得坩埚的多个承载位的定位信息，根据定位信息控制电子枪蒸镀控制系统进行作业；本发明还揭示了一种多位式坩埚定位系统。本申请通过对坩埚的多个承载位进行编码，再将编码信息和承载位的到位信息一并形成坩埚承载位的定位信息，能够明确的知晓坩埚承载位的位号，并明确该位号所对应的坩埚承载位的到位情况，从而准确的判断出是否需要控制电子枪蒸镀控制系统进行作业；整个方法简单可靠，出错率低，且实现的成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 多位式 坩埚 定位 方法 系统 | ||
【主权项】：
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