[发明专利]OLED阳极透明电极层及OLED显示装置的制造方法在审
申请号: | 202010673010.7 | 申请日: | 2020-07-14 |
公开(公告)号: | CN111668391A | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 钟尚骅;许文兴;钟明达 | 申请(专利权)人: | 紫旸升光电科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 深圳荷盛弼泉专利代理事务所(普通合伙) 44634 | 代理人: | 姜成康 |
地址: | 215128 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明揭露一种OLED阳极透明电极层的制造方法,该方法包括:提供一基板,其上具有并列独立设置的第一结构、第二结构及第三结构;在该基板上形成第一光阻图案,第一光阻图案仅曝露出第一结构的上表面;在第一结构的上表面形成第一透明导电层,移除第一光阻图案;在该基板上形成第二光阻图案,第二光阻图案仅曝露出第二结构的上表面;在第二结构的上表面形成第二透明导电层,移除第二光阻图案;在该基板上形成第三光阻图案,第三光阻图案仅曝露出第三结构的上表面;在第三结构的上表面形成第三透明导电层,移除第三光阻图案。由此,在OLED基板阳极不同结构处形成不同厚度的透明电极层时制程步骤简便,可节省设备支出费用,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | oled 阳极 透明 电极 显示装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
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H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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