[发明专利]一种氮化硅粉体的制备方法在审
申请号: | 202010673734.1 | 申请日: | 2020-07-14 |
公开(公告)号: | CN111792937A | 公开(公告)日: | 2020-10-20 |
发明(设计)人: | 张晶;孙峰;张伟儒;董廷霞;徐学敏;姜自飞;段伟斌;王春河;王梅 | 申请(专利权)人: | 中材高新氮化物陶瓷有限公司 |
主分类号: | C04B35/591 | 分类号: | C04B35/591;C04B35/622;C04B35/626 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 马云华 |
地址: | 山东省淄博*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: |
本发明涉及先进陶瓷粉体制备技术领域,尤其涉及一种氮化硅粉体的制备方法。本发明利用硅和氮化硅热膨胀系数的差异,在真空或惰性气氛中以3℃/min以上的升温速率迅速升温50℃以上然后降温,使硅粉表面的氮化硅层破碎,从而提高氮化反应速率,缩短氮化周期;本发明整个制备过程只有在1350℃以下才会通入氮气或氮氢混合气,硅粉氮化反应才会发生,可以防止β氮化硅生成,因此更有利于α‑Si |
||
搜索关键词: | 一种 氮化 硅粉体 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中材高新氮化物陶瓷有限公司,未经中材高新氮化物陶瓷有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010673734.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种基于含水量检测的智能化园林灌溉设备
- 下一篇:条缝复合吸声结构