[发明专利]一种高纯度高强高导铜基靶材及其制备方法有效
申请号: | 202010674702.3 | 申请日: | 2020-07-14 |
公开(公告)号: | CN111910101B | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 肖柱;方梅;李周;龚深;姜雁斌 | 申请(专利权)人: | 中南大学 |
主分类号: | C22C9/00 | 分类号: | C22C9/00;C22C1/03;C23C14/34 |
代理公司: | 长沙永星专利商标事务所(普通合伙) 43001 | 代理人: | 周咏;林毓俊 |
地址: | 410083 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种高纯度高强高导铜基靶材及其制备方法,原料按照重量份数比为:高纯银粉0.1~1.0份、高纯铜银锶合金粉1~10份、余量为铜粉99~99.9份,银粉+铜粉总共100份;其中:铜银锶合金粉合金中银的含量为0.1~1.0%,锶的含量为5~20ppm,余量为铜。本发明采用粉末冶金的方法对铜粉和银粉进行冷等静压制坯,可确保铜和银的比例保持一致,又可以避免熔炼过程中发生银的偏析。本发明提出的制备方法,在制备高纯坯锭之前先进行多道次区域熔炼获得合金母坯,可保证后续靶材成品的高纯度。 | ||
搜索关键词: | 一种 纯度 高强 高导铜基靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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