[发明专利]一种MEMS惯性器件敏感结构频率测试装置及方法有效
| 申请号： | 202010678991.4 | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN111964691B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 车一卓;苏翼;王汝弢;王永胜;盛洁 | 申请（专利权）人： | 北京自动化控制设备研究所 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100074 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS惯性器件敏感结构频率测试装置及方法，包括电动XY轴移动台(4)、承片台(2)、压电陶瓷(3)，所述压电陶瓷(3)刚性连接在承片台(2)下方，承片台(2)固定在电动XY轴移动台(4)上。通过信号发生器和功放装置驱动压电陶瓷(3)振动，按照wafer基片敏感结构上的顺序使多普勒测量仪对准其中一支敏感结构的驱动端位置，获得扫频周期内驱动端振动幅值最大点，所对应的频率即为该敏感结构的驱动谐振频率。本发明效率高、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 惯性 器件 敏感 结构 频率 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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