[发明专利]用于校准高透反射率测量系统的标准结构及校准方法有效
| 申请号： | 202010679089.4 | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN111948179B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 王圣浩;刘世杰;徐学科 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55;G01N21/59;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于校准高透反射率测量系统的标准结构，包括二氧化碳气源、真空泵、阀门1、阀门2、腔体和空气压力计，所述的二氧化碳气源通过管道与所述的腔体相连接，所述的管道内安装所述的阀门1，所述的真空泵通过管道与所述的腔体相连接，所述的管道内安装所述的阀门2，所述的空气压力计通过管道与所述的腔体相连接。本发明标准结构解决了现有高透反射率测量系统无法校准的问题，可实现0.99到0.99999范围内高透反射率的校准。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 校准 反射率 测量 系统 标准 结构 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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