[发明专利]一种旋转靶材绑定方法有效
| 申请号： | 202010682853.3 | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN111926296B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 阿南·辛格·迪欧达特;朱刘;黄宇彬;童培云;文崇斌 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种旋转靶材绑定方法，包括以下步骤：将待绑定旋转靶材加热，根据靶材加热后的膨胀量以及材料力学相关理论计算出需要加热的特定温度；将旋转靶材和背衬管分别进行粗化处理；将旋转靶材加热至特定温度使旋转靶材处于膨胀状态，然后在指定时间内把旋转靶材套装在背衬管外侧，使旋转靶材与背衬管之间形成一个缝隙空间；将旋转靶材冷却至室温。本发明提供一种旋转靶材绑定方法，无须采用铟为焊料做绑定，可以节省对应铟的消耗，降低了生产成本，能有效解决现有技术中采用铟为焊料做绑定后导致的铟脱落以及铟污染的技术问题，且能有效解决采用铟为焊料做绑定的靶材在溅射过程中还会把铟作为溅射源带入薄膜造成薄膜性能偏差等技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 绑定 方法 | ||
【主权项】：
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