[发明专利]加热装置及其适用的蒸镀设备在审
| 申请号： | 202010683423.3 | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN113817989A | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 吴学宪 | 申请（专利权）人： | 矽碁科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 谷敬丽;周晓飞 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种加热装置及其适用的蒸镀设备。加热装置包括坩埚、导热元件以及加热元件。坩埚包括底面、开口与该底面相对以及容置空间用以容纳待蒸镀材料。导热元件设置在坩埚的容置空间内，且导热元件设置在底面上并朝向开口延伸，而加热元件邻近坩埚设置。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 装置 及其 适用 设备 | ||
【主权项】：
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