[发明专利]一种N型单晶生长用半导体石墨热场

摘要

本发明公开了一种N型单晶生长用半导体石墨热场，包括石墨热场罐体和控制面板，所述石墨热场罐体内侧壁以及内侧的顶端和底端均设置有保温层，所述石墨热场罐体顶部一侧的中间位置处设置有进料仓，所述进料仓的一端延伸至石墨热场罐体的内部，所述进料仓内部的中间位置处分别设置有电磁隔离阀和称重装置，且称重装置位于电磁隔离阀的正上方，所述石墨热场罐体内侧壁的两端对称分别设置有加热板支架A和预热锅支架；本发明装置通过将晶体物料加入预热锅，当石英锅内的晶体加热分解后通过输出导管导出后，预热锅内的晶体进入石英锅内，从而实现了不间断的加热方式，提高了热场的使用效率。