[发明专利]对准标记在审
| 申请号： | 202010686298.1 | 申请日： | 2020-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN111766765A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 冯耀斌;陆聪 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 远明 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种对准标记，包括至少一个对准标记单元，每个对准标记单元包括沿第一方向设置的多个对准分割段，每个对准分割段被设置为第一图形结构或第二图形结构，并且所述第一图形结构与所述第二图形结构为凹槽结构和凸起结构中的一者。所述多个对准分割段可响应入射光线而产生多个不同级次衍射光，且第0级衍射光的强度不大于10，第3级衍射光的强度不小于50。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 标记 | ||
【主权项】：
暂无信息
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