[发明专利]树脂组合物、混合物、干膜抗蚀剂及相应的元件有效
| 申请号： | 202010686590.3 | 申请日： | 2020-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN111796483B | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 韩传龙;李伟杰;朱霞月;朱薛妍;严晓慧;周光大 | 申请（专利权）人： | 福斯特（安吉）新材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 李鑫 |
| 地址： | 313307 浙江省湖州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种树脂组合物、混合物、干膜抗蚀剂及相应的元件，属于电路印刷元件的制备技术领域。树脂组合物，包含有如下重量份的原料：粘合剂聚合物，50~70份；光聚合单体，10~50份；光引发剂，0.5~5.0份；消泡剂，0.1~5.0份；其中，光聚合单体中包含有通式（Ⅰ）所示的化合物，消泡剂中包含有通式（Ⅱ）所示的化合物。该树脂组合物具有优异的柔韧性、耐化学性和耐电镀性能，并且显影泡沫低、显影后干膜侧边形貌良好；进一步的，该树脂组合物作为干膜抗蚀剂制备元件时，可以有效提升产品良率和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 树脂 组合 混合物 干膜抗蚀剂 相应 元件 | ||
【主权项】：
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