[发明专利]一种微波等离子体设备用的基片台及设备

摘要

本发明提供一种微波等离子体设备中的基片台，用于承载薄片，所述基片台分上下两部分，基片台上半部分为一整体金属，其上表面为一圆环，中央中轴线处为一圆台，圆环与圆台之间有凹槽，圆台用来承载薄片，圆环高度高于圆台高度。基片台下半部为金属圆筒，里面埋有水冷凝管，有低熔点导热金属合金填充水冷凝管与金属圆筒之间，基片台上下半部分之间有一圆盘状高导热材料，该材料被下半部金属圆筒内低熔点导热金属固定在金属圆筒的上表面。由于微波激发的等离子体球是一个能量密度不均匀的球形体，导致对基片台上工件的热辐射量也是分布不均匀的，本基片台能改善微波等离子体的均匀分布性，同时减小基片台的热形变，使得所承载薄片的表面温度有良好的一致性。