[发明专利]多工位点胶机及其点胶方法在审
| 申请号： | 202010694552.2 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN113814114A | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 曲东升;李长峰;郜福亮;王晓春;周典虬;林翔;苗虎;黄继明;樊建 | 申请（专利权）人： | 常州铭赛机器人科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C9/14;B05C13/02;B05D3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 | 代理人： | 赵旭 |
| 地址： | 213100 江苏省常州市武进*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多工位点胶机及其点胶方法，包括：上下料机构，内限定有活动空间，上下料机构的外围设有数个加工工位，上下料机构在活动空间与各个加工工位之间往复运动以输送晶圆，数个所述加工工位包括一个定位工位、一个预热工位及多个点胶工位；晶圆扫码对位装置，位于定位工位，对上下料机构输送的晶圆进行扫码和对位；晶圆预热机构，位于预热工位，对上下料机构输送的晶圆进行预热；多个晶圆加热装置，分别设于对应的加工工位，晶圆加热装置对加工工位上的晶圆进行加热；多个点胶装置，分别设于对应的加工工位以对加热后的晶圆进行点胶。其能够对晶圆进行扫码、对位、预热、加热、点胶，具有结构紧凑、生产效率高和点胶质量高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 多工位点胶机 及其 方法 | ||
【主权项】：
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