[发明专利]一种WTi靶材组件的焊接方法在审
| 申请号： | 202010694667.1 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN111843162A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;廖培君;罗明浩 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/00 | 分类号： | B23K20/00;B23K20/14;B23K20/24;C23G1/20;B23K103/18 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种WTi靶材组件的焊接方法，所述焊接方法包括：将WTi靶材、铝背板及盖板进行组装，之后置入包套中依次进行脱气处理及焊接；其中，所述WTi靶材的焊接面设置有槽；所述铝背板的焊接面进行碱处理；所述组装为铝背板和盖板以WTi靶材为中心对称组装。本发明提供的焊接方法，通过在靶材焊接面设置槽、背板焊接面进行碱处理及特定的组装方式，实现了WTi靶材和铝背板的有效焊接，也显著减少了内应力的产生，无裂纹产生，强化了溅射效果，使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 wti 组件 焊接 方法 | ||
【主权项】：
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