[发明专利]一种基于碱性抛光凝胶的晶体硅表面精细抛光方法有效
| 申请号： | 202010695074.7 | 申请日： | 2020-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN111690987B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 夏庆华;黄成斌;姚伟明 | 申请（专利权）人： | 湖州飞鹿新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06;H01L21/306;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 313100 浙江省湖州市长兴县经济技*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池生产技术领域，尤其涉及一种基于碱性抛光凝胶的晶体硅表面精细抛光方法，其包括以下步骤：将硅研磨片浸入APM溶液中，进行超声波辅助清洗，得到表面带有一层二氧化硅薄膜的预抛光片，然后在预抛光片表面涂抹一层可光固化的碱性水凝胶，经紫外光固化之后在预抛光片得到一层碱性交联水凝胶层，升温至一定温度，对预抛光片表层进行腐蚀抛光一定时间得到抛光硅片。本发明克服了现有太阳能电池技术中的抛光液在抛光过程中的液体流动会对硅片的抛光造成不良影响，导致抛光均匀性不一，工艺不稳定的缺陷，经过本发明中的精细抛光方法抛光之后的晶体硅片具有更高的抛光均匀性稳定，同时其表面反射率明显提升而表面缺陷则明显减少。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 碱性 抛光 凝胶 晶体 表面 精细 方法 | ||
【主权项】：
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