[发明专利]一种芯片检测系统和芯片检测方法在审
| 申请号： | 202010698294.5 | 申请日： | 2020-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN111982811A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 黎浩;陈锋;许海明 | 申请（专利权）人： | 湖北光安伦芯片有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 吴静 |
| 地址： | 436000 湖北省鄂州市葛店*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种芯片检测系统和芯片检测方法，用于检测承载膜上的芯片的腔面，包括张紧装置、折弯件和检测装置，所述折弯件具有第一支撑面和第二支撑面，所述第一支撑面和第二支撑面用于支撑所述承载膜，并与所述承载膜设置有芯片的一面的反面相接触，所述张紧装置用于张紧所述承载膜，所述第一支撑面和所述第二支撑面之间具有一夹角，所述第一支撑面和所述第二支撑面的相交线为第一折弯线，所述检测装置用于检测所述第一支撑面上距离所述第一折弯线最近的芯片的腔面。本发明中的芯片检测系统和芯片检测方法可降低芯片的腔面的检测难度，提高检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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