[发明专利]一种可见光与红外双波段光输运管探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种可见光与红外双波段光输运管探测器的制备方法，包括：在水表面制备金属纳米球阵列；将Ge衬底置于水中，并提取承载有金属纳米球阵列的Ge衬底；对承载有金属纳米球阵列的Ge衬底进行真空退火处理，得到层叠设置的Ge衬底和金属纳米球阵列；在具有金属纳米球阵列的Ge衬底的一面生长SiO2材料得到SiO2层；在SiO2层上制备MoS2层；在MoS2层上制备第一正面电极和第二正面电极；在Ge衬底下表面制备背面电极。本发明具有红外探测响应度增强、低功率红外探测能力增强、红光波段吸收能力增强、纳米球转移工艺简单等优点，从而能够有效提高红外波段的响应度，降低制造难度，降低制造成本。