[发明专利]柔性多层复合压电薄膜的制备方法及柔性多层复合压电薄膜有效

专利信息
申请号: 202010700390.9 申请日: 2020-07-20
公开(公告)号: CN111883650B 公开(公告)日: 2023-09-15
发明(设计)人: 杨诚;陈超杰 申请(专利权)人: 清华大学深圳国际研究生院
主分类号: H10N30/05 分类号: H10N30/05;H10N30/063;H10N30/067;H10N30/50;H10N30/30
代理公司: 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 代理人: 孟学英
地址: 518055 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种柔性多层复合压电薄膜的制备方法及柔性多层复合压电薄膜,方法包括:将压电层材料溶于有机溶剂形成压电油墨;将导电浆料涂布在基材薄膜上得到第一电极层;在第一电极层上涂布压电油墨并烘干得到第一压电层,依序再次涂布压电层、电极层,压电层和电极层堆叠形成叉指结构,多个所述压电层并联;由此第一柔性多层复合压电薄膜;对所述第一柔性多层复合压电薄膜进行电晕极化处理得到第二柔性多层复合压电薄膜;用金属导线分别与第二柔性多层复合压电薄膜中的第一电极层和第二电极层分别相连作为正极和负极,得到第三柔性多层复合压电薄膜;在第三柔性多层复合压电薄膜外涂布形成保护层得到最终的柔性多层复合压电薄膜。
搜索关键词: 柔性 多层 复合 压电 薄膜 制备 方法
【主权项】:
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