[发明专利]一种高精度隧道式加速度计及其制备方法有效
| 申请号： | 202010702434.1 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN112034203B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 张威;廖建辉;赵晓东 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/13 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高精度隧道式加速度计及其制备方法。本发明的隧道式加速度计，包括玻璃衬底、硅片和石墨烯，其中硅片上有反馈电极、质量块和隧道结，反馈电极位于质量块左侧，质量块与弹簧固定连接，隧道结位于质量块右侧。其制备方法包含的步骤为：在硅片背面刻蚀限位槽，使质量块处于自由移动的状态；阳极键合玻璃衬底与硅片；溅射金属，在硅片正面标记位置制备反馈电极和隧道电流发射电极；深刻蚀，生成弹簧和质量块；制备隧道结，在隧道电流发射电极上集成石墨烯，通过电致燃烧法形成隧道结。本发明的隧道式加速度计，采用石墨烯电致燃烧法制备隧道结，既避免了传统工艺的限制，又确保了隧道间距的可控性，从而提高了加速度计的测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 隧道 加速度计 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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