[发明专利]压力传感器在审

专利信息
申请号: 202010704242.4 申请日: 2020-07-21
公开(公告)号: CN112291690A 公开(公告)日: 2021-01-29
发明(设计)人: 张超发;P·A·A·卡罗;谢征林;蔡国耀;蔡柔燕;吕志鸿;李瑞家;龙登超;J·纳拉亚纳萨姆;苏继川 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: H04R17/02 分类号: H04R17/02
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 黄倩
地址: 德国诺伊*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本公开的实施例涉及压力传感器。提供了压力传感器及其制造方法。压力传感器可以包括:无盖结构,限定用于密封环境的内部腔室并且呈现孔;芯片,包括能够在外部压力的基础上变形的隔膜,芯片以与孔对应的方式安装在无盖结构的外部,使得隔膜封闭密封环境;以及电路系统,被配置为基于隔膜的变形来提供压力测量信息。制造至少一个压力传感器的方法可以包括:准备具有腔的叠层结构,腔通过孔与外部环境流体连通,使得叠层结构具有施加在其上的电路系统;从外部侧将芯片安装到与孔相对应的叠层结构上,芯片包括能够在外部压力的基础上变形的隔膜,隔膜封闭腔的内部环境;以及施加密封材料以在由隔膜、密封材料和叠层结构限定的空间内获得密封环境。
搜索关键词: 压力传感器
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于英飞凌科技股份有限公司,未经英飞凌科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010704242.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top