[发明专利]压力传感器在审
申请号: | 202010704242.4 | 申请日: | 2020-07-21 |
公开(公告)号: | CN112291690A | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 张超发;P·A·A·卡罗;谢征林;蔡国耀;蔡柔燕;吕志鸿;李瑞家;龙登超;J·纳拉亚纳萨姆;苏继川 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H04R17/02 | 分类号: | H04R17/02 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 黄倩 |
地址: | 德国诺伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开的实施例涉及压力传感器。提供了压力传感器及其制造方法。压力传感器可以包括:无盖结构,限定用于密封环境的内部腔室并且呈现孔;芯片,包括能够在外部压力的基础上变形的隔膜,芯片以与孔对应的方式安装在无盖结构的外部,使得隔膜封闭密封环境;以及电路系统,被配置为基于隔膜的变形来提供压力测量信息。制造至少一个压力传感器的方法可以包括:准备具有腔的叠层结构,腔通过孔与外部环境流体连通,使得叠层结构具有施加在其上的电路系统;从外部侧将芯片安装到与孔相对应的叠层结构上,芯片包括能够在外部压力的基础上变形的隔膜,隔膜封闭腔的内部环境;以及施加密封材料以在由隔膜、密封材料和叠层结构限定的空间内获得密封环境。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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