[发明专利]一种低温激光干涉测量光学系统的热噪声抑制系统

摘要

本发明涉及低温激光干涉测量光学系统的热噪声抑制方法及系统，第一质量流量计输出的反应气体和第二质量流量计输出的稀有气体在标准工作气体装置内充分混合后得到标准工作气体，标准工作气体装置将标准工作气体通入射频等离子体发生器；射频等离子体发生器通过射频放电产生混合物等离子体并将混合物等离子体通入待处理光学构件所在的真空腔，混合物等离子体与待处理光学构件的表面相互作用，完成对待处理光学构件的热噪声处理。本发明利用混合物等离子体改变构件表面材料的特征，降低表面损耗，解决了表面损耗引发的热噪声问题，提高测量灵敏度，同时具备超低温及超高真空环境的兼容性及在线原位处理能力，是一种有效可靠的热噪声抑制方法及系统。