[发明专利]一种多晶硅铸锭炉在审
申请号: | 202010709409.6 | 申请日: | 2020-07-22 |
公开(公告)号: | CN111663180A | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 周继承;冯天舒 | 申请(专利权)人: | 中南大学 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562 | 代理人: | 谢秀娟 |
地址: | 410083 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开一种多晶硅铸锭炉,包括炉体和设置在炉体内的保温罩,所述保温罩内设置有坩埚、底板、加热器、隔热块及热交换装置;所述底板安装在所述热交换装置上,所述坩埚放置在所述底板上,所述坩埚外壁上安装有坩埚护板,所述底板的侧壁上安装有角度调节机构,所述隔热块安装在所述角度调节机构上,所述隔热块末端与所述保温罩接触连接。本发明通过改变碳毡隔热块的放置方式,即调节其与底部石墨护板间所成夹角,可以有效控制热量散失途径与方式,实现对热场的调控,以满足铸锭各工艺的不同需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 | ||
【主权项】:
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