[发明专利]一种等离子去胶机有效
| 申请号： | 202010712952.1 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN111804673B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 彭香玲;连立亭 | 申请（专利权）人： | 无锡奥威赢科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B11/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 | 代理人： | 杨立秋 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及等离子去胶机设备机技术领域，具体涉及一种等离子去胶机，包括机箱，机箱的内部由下至上依次设置有射频电源、加热板、放置组件和电离组件；机箱的左侧壁上设有用于对机箱内部进行抽真空的抽真空组件，机箱的右侧壁设有用于对机箱内产生的热气流进行循环的过滤循环组件，机箱的顶部设有用于向电离组件内部供气的供气组件，本发明提供了一种等离子去胶机，通过一系列结构的设计和使用，本发明在进行使用过程中，解决了一方面加热不均匀会导致去胶效果差，另一方面由于电离过程中产生大量高能活性粒子会造成对圆片表面进行损伤的问题，进而提高了等离子去胶机的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 去胶机 | ||
【主权项】：
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