[发明专利]一种选通管及其制备方法有效
| 申请号： | 202010714397.6 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN112216793B | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 罗庆;丁亚欣;吕杭炳;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H10N70/00 | 分类号： | H10N70/00 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种选通管及其制备方法，选通管包括：衬底；设置于衬底上的交替层，所述交替层由底电极层与绝缘层交替形成；所述交替层上开设有U型凹槽，从所述U型凹槽的内壁至所述U型凹槽中心的方向依次设置有选通层和介质层，所述介质层围成的凹型空间内填充有顶电极层。本发明提供的选通管和制备方法，用以解决现有技术中选通管漏电流高的技术问题。提供了一种低漏电流的选通管。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 选通管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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