[发明专利]一种用于真空炉石墨部件的防护方法

摘要

本发明涉及一种用于真空炉石墨部件的防护方法，该防护方法包括：1)对石墨部件进行抛光打磨，使石墨部件的表面粗糙度达到0.5mm以下；2)将抛光打磨后的石墨部件放入CVD炉内；3)设定CVD炉内的温度和压力，向CVD炉内通入甲烷和氮气或者通入三氯化硼、氨气和惰性气体，最终在石墨部件表面沉积一层热解石墨涂层或热解氮化硼涂层。本发明通过在石墨部件表面涂覆一层热解石墨或热解氮化硼涂层，一方面可以防止石墨粉尘挥发出来污染反应腔室，从而提高产品的纯净度；另一方面可以保护石墨部件，延长石墨部件的使用寿命，降低企业成本。