[发明专利]一种压电薄膜的制备方法、压电薄膜及声表面波滤波器有效
| 申请号： | 202010717300.7 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN111883647B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;陈阳;黄凯;赵晓蒙;鄢有泉;李忠旭;黄浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L41/253 | 分类号： | H01L41/253;H01L41/04;H01L41/08;H03H9/02;H03H9/64 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了压电薄膜的制备方法、压电薄膜及声表面波滤波器，该方法包括：对压电晶圆进行离子注入剥离，得到表面具有离子注入损伤层的初始压电薄膜；在预设温度范围内，通过氟离子对初始压电薄膜进行低能离子辐照去除所述离子注入损伤层，得到辐照后的压电薄膜；辐照后的压电薄膜的表面具有非晶层，所述非晶层包含所述氟离子与初始压电薄膜在离子辐照过程中进行化学反应得到的成分；使用预设混合溶液去除辐照后的压电薄膜表面的非晶层，得到压电薄膜。本发明能够降低薄膜表面粗糙度和提高薄膜厚度均匀性，同时不在薄膜表面留下非晶层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 薄膜 制备 方法 表面波 滤波器 | ||
【主权项】：
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