[发明专利]一种刻蚀设备约束环的制造工艺在审
| 申请号： | 202010720923.X | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111876777A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 李文明;郑广文;张少杰 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04;C23C24/04;C25D11/02;B08B3/12;B23P15/00 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 孙奇 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明是一种刻蚀设备约束环的制造工艺，其特征在于，集精密加工，精密清洗，硬质阳极，氧化钇涂层多种先进工艺于一体的关键零部件制造工艺；其中在零件的机械加工过程，精密加工采用精车环槽；环槽的尺寸外径直径为φ500mm圆，环槽宽度2.5±0.01mm，共有10组环槽，层层相连，形成约束环；环槽的精密加工使用刀具为名古屋刀具。本发明工艺的成功研发，使精密机械零部件的加工工艺，巧妙的车铣配合，精密的特殊刀具的设计，使本发明效率和加工质量得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 设备 约束 制造 工艺 | ||
【主权项】：
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