[发明专利]一种硅蚀刻液混酸浓度的分析方法有效
| 申请号： | 202010721703.9 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111751491B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 刘鸣;宗蕾;金旭 | 申请（专利权）人： | 苏州市晶协高新电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N31/16 | 分类号： | G01N31/16 |
| 代理公司： | 苏州瞪羚知识产权代理事务所(普通合伙) 32438 | 代理人： | 张宇 |
| 地址： | 215151 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅蚀刻液混酸浓度的分析方法，取待测的硝酸、氢氟酸和醋酸的混酸样品，在该混酸样品中分别加入非质子性有机溶剂和抗沉淀干扰溶剂制得硅蚀刻混酸溶液，通过自动电位滴定仪将标定好的强碱水溶液滴入硅蚀刻混酸溶液中，至分别出现第一、第二、第三突跃部分；根据第一、第二、第三突跃部分的中点所消耗强碱水溶液的体积来计算硅蚀刻液混酸即硝酸、氢氟酸和醋酸的浓度。本发明用一步法简单快速准确的测量硅蚀刻液中所含的硝酸、氢氟酸和醋酸的浓度，可自动滴加，自动计算滴定结果，高效快捷，提高精度、省时省力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 液混酸 浓度 分析 方法 | ||
【主权项】：
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