[发明专利]氧含量检测设备的校准方法及装置在审
申请号: | 202010721862.9 | 申请日: | 2020-07-24 |
公开(公告)号: | CN111766215A | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 徐鹏 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/3563 | 分类号: | G01N21/3563;G01N21/3504 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;张博 |
地址: | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供了一种氧含量检测设备的校准方法及装置,属于半导体技术领域。氧含量检测设备的校准方法,用于对第一测量设备进行校准,所述方法包括:对单晶硅样品采用第二测量设备进行氧含量检测,得到第二测定结果;利用所述第一测量设备和所述第二测量设备的相关性曲线将所述第二测定结果转换为第二预测结果;利用所述第二预测结果对所述第一测量设备进行校准。本发明能够有效提高氧含量检测设备的准确性。 | ||
搜索关键词: | 含量 检测 设备 校准 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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