[发明专利]激光直接成像设备在审
| 申请号： | 202010722495.4 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111730215A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 魏亚菲;温延培;熊让安;祝锁;曹葵康 | 申请（专利权）人： | 苏州天准科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 徐颖聪 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光直接成像设备，包括：底座；载台，所述载台设置在所述底座上，所述载台用于承载待蚀刻产品；载台驱动装置，所述载台驱动装置连接所述载台，以驱动所述载台沿着Y方向运动；支架，所述支架包括设置在所述载台的X方向两侧的两个立柱及连接两个所述立柱的横梁，所述横梁在竖直方向上位于所述载台的上方；对位装置，所述对位装置设置在所述支架的横梁的Y方向的一侧，用于对所述待蚀刻产品进行对位；激光装置，所述激光装置设置在所述支架的横梁的Y方向上与所述对位装置相背的一侧，用于对所述待蚀刻产品进行蚀刻。根据本发明的激光直接成像设备，能够提高蚀刻精度和蚀刻的稳定性、效率高、一致性好。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 直接 成像 设备 | ||
【主权项】：
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