[发明专利]一种高反射样品激光损伤阈值测试装置有效
| 申请号： | 202010724982.4 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN112033644B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 白芳;麻云凤;樊仲维;程旺;宫学程 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空天信息创新研究院 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 李微微 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高反射样品激光损伤阈值测试装置，通过采用光楔补偿光程，使得作用在样品表面的光斑大小始终一致，保证阈值测试的精度；计算机实时采集激光器输出能量、辐照在样品表面激光能量和光斑大小等数据，通过计算获得激光作用能量密度或功率密度。此外，用CCD拍摄记录激光在样品上作用点的图像，记录有损伤的图样数，计算不同能量密度条件下激光损伤概率，画出损伤概率图，得出光学元器件激光损伤阈值。本发明装置实现了测试系统的集成化、自动化，能够在线实时快速准确判别光学元器件膜层损伤，并且自动给出损伤概率图，出具检测报告；对于样品的放置角度较大时，本发明可通过对向移动双光楔，实现作用在样品表面的光斑大小始终一致。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射 样品 激光 损伤 阈值 测试 装置 | ||
【主权项】：
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