[发明专利]一种等离子体处理系统及其多段式法拉第屏蔽装置有效
| 申请号： | 202010725037.6 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN113972125B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 刘海洋;刘小波;胡冬冬;李娜;程实然;郭颂;吴志浩;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 肖鹏 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体处理系统及其多段式法拉第屏蔽装置，包括导电环，以及多个辐射对称布置在导电环外周的导电瓣状组件；每个导电瓣状组件包括多段导电板和多个连接电容；每个导电瓣状组件的多段导电板沿径向间隔排列；每两段相邻导电板之间设置有一个连接电容；每个连接电容包括上电极板和下电极板；上电极板的下端面和\或下电极板的上端面设置有绝缘涂层；且上电极板的下端面与下电极板的上端面相接；上电极板导电连接在两段相邻导电板中的一段导电板上；下电极板导电连接在两段相邻导电板中的另一段导电板上；多个导电板位于同一平面。本发明加工成本低，安装定位方式简便，相比于现有的多段式法拉第屏蔽装置，不占用竖直方向的空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 处理 系统 及其 段式 法拉第 屏蔽 装置 | ||
【主权项】：
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