[发明专利]白光干涉系统有效
| 申请号： | 202010725426.9 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN112033279B | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 程文治;李晓春;代林茂;郝海波;张礼朝 | 申请（专利权）人： | 长沙麓邦光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01J9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410217 湖南省长沙市高新技术开*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学技术领域，公开一种白光干涉系统。本发明基于P光和S光经线性偏振片发生干涉，其中一个光臂采用迈克尔逊干涉中常规的单反射镜对光程进行调节；而在另一个光臂中，采用多反射镜组成的反射式光程调节器对光程进行调节；两者在结构设置上，操作空间彼此独立无挤占，为用户操作提供了极大的便利；且两者的结合能有效弥补任一光臂因装配和机械公差所导致无法发生干涉的问题。与此同时，本发明以第一、第二和第三偏振分束器形成部分光路重叠的第二和第三矩形光路结构并最终形成两个独立的干涉检测端口，方便两个用户或智能终端同步对不同的参数进行测量及分析；充分提高了资源的利用率并降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 白光 干涉 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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