[发明专利]流体质量流量控制器的标定方法及标定装置有效
| 申请号： | 202010730611.7 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN111855179B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 张海洋;邹义涛;叶建 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创流量计有限公司 |
| 主分类号： | G01M13/00 | 分类号： | G01M13/00;G01R31/00;G05B23/02;H03M1/10 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京市北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种流体质量流量控制器的标定方法及标定装置，其中，流体质量流量控制器的标定方法包括：向流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的功能单元反馈的与各参数值对应的第二参数的参数值，其中，第二参数与第一参数相关联；根据第一参数的参数值和对应的第二参数的参数值，确定第一参数和第二参数的对应关系；根据对应关系对相应的功能单元进行标定，以实现对流体质量流量控制器的标定。本发明提供的流体质量流量控制器的标定方法及标定装置，能够提高标定的一致性和可靠性，并提高标定效率，从而提高流体质量流量控制器的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 质量 流量 控制器 标定 方法 装置 | ||
【主权项】：
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