[发明专利]掩膜板框体组件和掩膜板组件在审
| 申请号： | 202010732964.0 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN111996487A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 侯炜轩 | 申请（专利权）人： | 维信诺科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人： | 丁建春 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种掩膜板框体组件和掩膜板组件，掩膜板框体组件包括框体和固定机构，框体用于对掩膜板提供支撑；固定机构用于固定掩膜板；固定机构与所述框体活动连接，用于动态调整所述掩膜板的张网力度/精度。通过上述方式，本申请能够提高掩膜板的张网精度。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板框体 组件 掩膜板 | ||
【主权项】：
暂无信息
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