[发明专利]增强型复合栅晶体管及其制作方法在审
| 申请号： | 202010735319.4 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN111863951A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 毛维;王海永;杨翠;高北鸾;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/06;H01L21/335;H01L29/778 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 王品华 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明公开了两种增强型复合栅晶体管及其制作方法，主要解决现有功率开关器件存在的阈值电压低的问题，其包括：衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、栅柱(6)、源极(7)、漏极(8)、台面(9)、栅极(10)和保护层(16)。其中栅柱具有两种结构，第一种结构中的栅柱由P型层(4)和N型层(5)组成，其N型层包括N |
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| 搜索关键词： | 增强 复合 晶体管 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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