[发明专利]一种深能级瞬态谱测试方法、装置及存储介质有效
| 申请号： | 202010735729.9 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN111856237B | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 李兴冀;杨剑群;吕钢;董尚利 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R23/16;G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 11473 | 代理人： | 涂杰 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种深能级瞬态谱测试方法、装置及存储介质，涉及测试技术领域，包括：对半导体材料施加连续的脉冲同步信号；获取所述半导体材料的瞬态电容变化波形；根据所述瞬态电容变化波形进行多次指数拟合，确定所述半导体材料的指数深能级瞬态谱。本发明相对于率窗等抽样算法、傅里叶等统计算法，直接采用波形数据进行计算，而非估算的结果，可靠性更强，同时利用指数拟合的方法，还原瞬态电容变化波形的特征，寻找最优拟合结果，测试结果更为准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 能级 瞬态 测试 方法 装置 存储 介质 | ||
【主权项】：
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